高精度大理石XY结构直线电机平台

GLMT-XY  系列（超高精度直线电机平台）

GLMT-XY  系列（超高精度直线电机平台）

特点（大理石底座，超高平面度，超高精度）

· 直线电机双驱，250*250mm或360*360mm行程，大理石底座固定，非常平稳定

· 高平面度，高精度

· 连续运动平滑，工业级别使用寿命

· 性价比高，国内生产，使用ACS控制系列    

· 适用于半导体加工，晶圆检测等光学设备                                      

技术指标