TRI-HEX系列并联运动平台 

HEX-S5.10.60-XXX系列六自由位移台

特点（国内自主研发机械组装，超高机械精度）

· 丝杠传动，步驱电机，TRI-POD结构调整Z轴及θXθY轴，θX轴360度旋转。

· XY轴满足高精度，大行程

· 连续运动平滑，工业级别使用寿命

· 性价比高，国内生产

· 适用于调平机构，半导体晶圆检测

技术指标

PS:

1、以上所有精度都为厂家标准控制器在实验室环境中理想条件测试所得

2、接受特殊型号及尺寸定制