1、气源要求：气浮台的供气气源必须是洁净的，无水无油，固体颗粒应小于0.2μm，压力露点应达到-20℃。为了确保气源的洁净度，应定期使用三级过滤器进行排水，并根据地域湿度的不同，实际情况检查，可能需要周/月/季进行检查。三级过滤器应竖直安装，并定期检查是否有油水的情况，如有，应打开过滤器底部开关排出。

2、安装与清洁：在安装工件前，直线轴和转台负载台面以及机械转台安装的工件平面度应控制在3μm以内，这要求使用无水乙醇进行擦拭干净后再进行安装。安装螺钉时，无论是四角固定还是环形固定，都应按照对角线的顺序进行安装，先轻微上力，再逐步加力，并参考螺钉紧固力矩标准。

3、通电与通气顺序：转台在使用时，应先通气再通电，气压应保持在0.5~0.6Mpa之间。关机时，应先断电再断气，以确保设备的正常运行和安全。

4、精度与维护：气浮位移台在使用过程中，应注意保持其精度指标，如定位精度、重复定位精度、直线度、平面度等。此外，定期对设备进行维护和检查，确保其处于良好的工作状态。